第128章 DUV光刻機（1 / 1）
在王昊天的眼前，有一個白色的大殼子，上邊打著智慧殿堂的標誌，現在智慧殿堂的logo已經確認了，就是一個仿古的有菱角的殿堂！
這就是小芳製作出來的光刻機。
看見王昊天專注的眼神，小芳略微有些得意：“我已經按照你的吩咐儘可能地降低配置了。”
說到這裡小芳情不自禁地瞥了一下嘴巴：“你們星球上的科技真的是低！”
“首先是鐳射發射器，因為是製作45奈米的光刻機，不能用可見光，也不能用紫外光，我們採用的是深紫外光，也就是所謂的DUV!”
“準確的說是ArF準分子鐳射，這種光的波長雖然是193奈米，但是可以等效為134奈米。”
“就算是DUV光刻機，也是可以分為兩種的，一種是幹分式的，另一種就是液浸式的，我們這一臺選擇的是浸透式的，浸透式的光刻機在理論上在製造晶片的時候經過多重曝光之後工藝可以達到驚人的7奈米！”
“但是幾乎沒有人才有DUV光刻機生產7奈米的晶片，因為每多增加一次曝光，那麼生產晶片的難度增加，良品率也不能有效的保證，種種因素結合在一起，就導致了成本大大增加！”
根本就不划算！
商人以追逐利益為目標，這和本心背道而馳！
自然不會有人採用！
除非出發點不是為了賺取利潤！
“所以根據我們的實際情況，只要製造的晶片在於10奈米以下，那麼我們就必須要考慮極紫外光了，也就是所謂的EUV光刻機。”
“不過……”說到這裡，小芳撇了撇嘴巴：“以我們的光刻機進展速度，距離製造EUV光刻機最起碼還需要三年呢！”
聽后王昊天點了點頭，現在他的目標就是製造45奈米的光刻機，現在上城微電子裝置公司已經可以可以量產90奈米的光刻機了。
從90奈米的光刻機提升到62奈米的光刻機難道是不大的，可以這麼說，從90奈米提升精度，只要不到45奈米都是比較容易做到的，一直到45奈米這是一個技術關卡！
至於45奈米之後還有28奈米的，26奈米的，22奈米的……一直到10奈米，7奈米，5奈米等等……
目標我們這顆星球上能實現量產的也就是5奈米的罷了！
小芳繼續說道：“ArF準分子鐳射被鐳射發射器發射出來之後，光束有些偏差，這個時候必須經過光束矯正器進行矯正，你們星球上一般需要3個光束矯正器才能矯正出來自己需要的，而我在你們技術上經過改良最佳化，現在僅僅需要兩個光束矯正器就可以了。”這裡小芳有些得意，好像自己進行了降維打擊。
“還有，被矯正的光束能量還需要控制，這時候就需要能量控制器了，我們可以依靠能量控制器，控制光束之中的能量大小，我們想要大就要大，想要小就要小，完全在我們的掌控之中呢！”
“能量大小被我們控制了之後，我們還要控制光束的形狀！這時候就需要光束成型裝置了。”
小芳耐心地給王昊天解釋著，還把光刻機開啟，一邊講解著，一邊給王昊天指出來儀器所在的具體位置：“光束成型裝置裡邊又包括著光束形狀設定以及遮光器。已經確定形狀和能量大小的光束在出了形狀成型裝置之後，還要經過一次能量檢測器檢查一次！”
“緊接著光束就會以圓柱形狀照射在光掩膜臺上，光掩膜臺上放著由晶片設計公司做好的光掩膜！”
“在光掩膜臺上和曝光臺之間還會有一個凸透鏡！”
“光束透過掩膜上的空隙，再經過凸透鏡折射到曝光臺！在曝光臺上會放著已經塗好光刻膠的矽晶圓片！”
“我這麼簡單地說了一下你能聽明白嗎？”小芳微笑著看了一眼王昊天。
王昊天點了點頭：“原理我還是能聽明白的。”
很誠實！
說到這裡，王昊天笑了笑：“不過要真的做出來，我還得靠你了。”說這一句話王昊天也不覺得丟人，在他的理念裡小芳能做出來的東西就是他的東西，大家不用分的這麼清楚。
“依靠你我是有些投機取巧了。”王昊天不得不承認，他對於光刻機僅僅停留在理論方面，至於實幹，那是一竅不通！
好在小芳製造這臺45奈米的光刻機用的都是我們星球上可以理解的技術，根本就沒有超綱！
而且技術也不算很高，王昊天可以賣給國內有需要的企業甚至……國家！
他們有真正的專家，如果有了45奈米的光刻機之後，肯定可以迅速地吃透裡邊的技術，曾經外國就瘋狂叫囂，瞧不起我們。
甚至大放厥詞：“就算給你們圖紙，你們也造不出來高階的光刻機！”
現在王昊天要做的就是一個合格的老師，一點一點的餵食，先從45奈米的光刻機開始，一點一點提升光刻機的精密度，一點一點的增加難度，這樣從根本上提升我國的製造業！
總有一天，世人會發現王昊天為華國所做的貢獻，就算被稱為“現代工業之父”也不為過！
因為王昊天將會提升整個國家的製造水平！
僅僅一個稱號就能滿足了？
那是不可能的，王昊天野心大著呢！
比如現代軟體之父、現代智慧之父、現代自動駕駛之父、現代火箭之父、現在新能源之父……
想想都讓人激動呢！
激動地都睡不著覺！
看見王昊天都流哈拉拉了，小芳拍打了一下光刻機的金屬殼。
啪！啪！啪！
這倒是把王昊天嚇了一跳，趕緊上前一步拉住了小芳的手：“我的姑奶奶啊，千萬別拍壞了，這都是錢啊。”
“哼。”小芳不屑地說道：“老王你也不看看這是誰做的儀器了，要是能這麼容易就拍壞，那我……那我就跟你的姓！”
聽到這裡，王昊天說道：“要是別人拍肯定拍不壞，可是你不一樣呀。”
畢竟現在小芳可是有著機器外殼的，王昊天緊跟著說道：“不過你要跟著我的姓那也沒有關係，就叫王小芳吧，多麼的好聽，按照年紀……我應該算是你哥哥了。”