第202章 高效能7nm光刻膠,還真有!(1 / 1)

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從張千越口中得到真相之後,劉天陽只想反問對方一句:這技術既然有問題,那為什麼要放出來?!

在劉天陽看來,像這種明顯會對整體良率帶來很大影響的工藝,一開始就不應該放在使用者制導手冊之中。

就像他現在面臨的問題一樣,晶片被卡了脖子,導致關鍵產品無法交付,很多研究專案也進行不下去。

本來按照計劃,只要能成功量產晶片,縱然產量不行,至少也能把整個鏈條轉起來。

可如今東芯國際臨陣告知設計需要修改,這對於整個專案進度,幾乎可以說的上是一場災難了。

如果從一開始就知道這個技術有問題,劉天陽還能透過增大晶片面積、調整設計架構的方式繞過去。

現如今卻是不能走這條路了,一是如果真這麼做,幾乎可以說是把當前的設計推倒重來,需要的時間太長。

二來縱然搞定了設計,其他配套產品也都要跟著一起修改,牽一髮而動全身,影響實在是太大。

“這一點實在是抱歉。”張千越看出劉天陽的臉色有些不對,很是慚愧的道了聲歉。

畢竟這件事歸根結柢,還是因為他們公司為了給客戶展現一個好印象,強行上馬不成熟技術導致的。

“我們之前的客戶基本上都是在公版架構的基礎上改出來的晶片,這個技術用的並不多,所以對總體良率影響並不大。”

“但劉總您這邊晶片架構幾乎全是自研的,潛力壓榨的非常徹底,說實話,我們也是第一次遇到這種問題。”

“不過現在正在緊急組織攻關,如果有什麼進展會立刻告知您。”

“嗯,情況我已經瞭解了。”劉天陽吐了一口氣,雖然在如今這個節骨眼被坑了讓他非常難受,但也並沒有情緒化。

畢竟他這次來是為了解決晶片的問題,而非抓一個人吵一頓,展現甲方大爺的雄風的。

“不過我可以問一下嗎,你們準備怎麼解決這個問題?”

“剛剛你也說了吧,這個工藝良率不行的主要原因,就是出在光刻膠的穩定性不夠之上,導致多重曝光之後的精度出現問題。”

面對劉天陽的疑問,張千越不由得沉默了一下,他剛剛條件反射式的回答忽悠其他客戶還行,但現在面對的可是懂行的人。

“唉,也是見不得檯面的事情。”張千越的面容變得非常苦澀,聲音很低的說出了他們的解決方法。

“我準備想點辦法,找個渠道從信越那裡買一點禁售的光刻膠過來。”

啊?

劉天陽聽到這句話頓時眼前一黑,你管偷偷找小日本買光刻膠叫技術攻關啊!

不過看到張千越那有些扭曲的面孔,劉天陽也很清楚,此人能把真話講出來,已經是抱了很大的勇氣的。

畢竟這種事情要是漏了出去,東芯國際顏面大失,股價受到影響是必然的事情。

至於張千越自己,別說保住自己的位置了,恐怕還會被以造謠的罪名追究刑事責任。

“張博你放心,這件事我是不會說出去的。”

劉天陽笑著拍了拍張千越的肩膀,示意他不要這麼緊張。

“而且我剛剛不是說了嗎,我這次來是為了解決問題,幫忙的。”

誒,對啊!

已經完全被劉天陽牽著鼻子走的張千越陡然反應過來。

自己也正是圖著能借助面前這位劉總的人脈,有沒有辦法解決光刻膠這個卡脖子的問題,才說起公司目前的情況的。

不過那些事情實在是上不了檯面,而且洩露出去影響又極壞,張千越越說越緊張,倒是把自己給繞進去了。

“劉總您有路子從日本那裡買到光刻膠嗎,不一定非要信越的,像是JSR,或者是東京TOK的也都可以。”

“現在能用在ArF製程上的光刻膠基本上被他們壟斷了,您要是能打通這個渠道,可真是幫了我們大忙啊!”

聽到張千越的話,劉天陽輕輕搖了搖頭,這人怎麼還惦記著小日本的東西啊!

在如今對抗越來越激烈的大背景之下,這種投機取巧的舉動,等同於把自己的命根子送到敵人的手上。

“張博,小日本就是老美的狗,絕對不能指望他們。”劉天陽話糙理不糙,直接挑明瞭自己的看法。

“我準備聯合高校團隊,組織一下人力,對能用在你們這個7nmPTDL/S技術節點的ArF光刻膠進行攻關。”

“爭取把這個問題,一勞永逸的解決掉。”

自從科研輔助平臺搭建好之後,劉天陽便和國內的很多化學、材料方面的教研室建立了聯絡。

其中有不少教授看到了鋰氧電池方面的傑出成果,搶著跟天陽科技建立了深度合作關係。

如今,面對一個光刻膠,只是小試牛刀而已。

“這……能,能行嗎?”張千越用像是看瘋子的眼神望向劉天陽,這傢伙剛剛說什麼?

他準備直接研發出7nm節點ArF光刻膠,解決掉這個困擾了國內半導體行業的大問題?

劉天陽的話如此輕巧,讓張千越有了一種研發光刻膠就像是拔大白菜一般輕鬆的錯覺。

但他對於國內的研發情況還是很瞭解的,在那些用於28nm以下製程的光刻膠上,國產的替代率一直走高,市場份額也在不斷擴大。

可在7nm這個先進製程節點,國產光刻膠的市佔率連1%都沒有,而且效能跟日本那三家差距極大。

“劉總,國內研究光刻膠的那幾個團隊我都認識,之前為了尋求替代,跟他們都有過深入交流。”

“說實話,技術差距還很大,要走的路還很長,不是一朝一夕的事情啊。”

張千越反過來勸起了劉天陽,讓他不要頭腦一熱,把精力浪費在這種事情之上。

“光刻膠的研發是材料學科,是基礎化學方領域裡的內容,這兩個方向最看重的就是經驗積累。”

“劉總您就是拿錢去砸,大機率也會打了水漂,很難有什麼成果。”

張千越的話很實在,也的確是在真心實意為劉天陽著想,不想讓他掉進坑裡才下那種武斷的結論。

“張博不必如此悲觀。”劉天陽神秘的笑了笑,然後反問了一句,“你知道我用在智慧機械狗平臺上,那個鋰氧電池嗎?”

“鋰氧電池?”張千越不清楚劉天陽為什麼把話題突然拐到這上面來,“那是啥?”

他最近天天忙的焦頭爛額,根本沒時間看天陽科技釋出會,就連智慧機械狗,也是透過劉天陽的表情包知道的。

見到張千越兩手一攤的樣子,劉天陽在網上搜了搜,隨便找了一個測評博主出來。

“你看一下這個影片吧,我以主要研發者的身份保證,這上面的內容,基本上都是對的!”

從原理上來說,鋰氧電池並沒有什麼難以理解的地方,本質上都是將能量以化學能的方式儲存下來,再透過電勢差推動電子運動,從而以電能的方式釋放出去。

所以自從這玩意爆火之後,網上便有很多博主做了科普影片,把為什麼這東西能這麼牛逼,以及未來這種電池能做到什麼程度。

當然,作為科普影片,自然不能指望他們連具體工藝實現都講的明明白白。

就好比質能方程大部分人都清楚,E=mc^2,但要是有人說自己手上有氫彈的構型,恐怕下一秒賬號就被管控,一個小時之後就進局子了喝茶了。

“十倍,我的媽耶。”

劉天陽找的影片做了好幾個極為直觀的動畫,將鋰氧電池相對於普通三元鋰電池的優勢展現的淋漓盡致,以張千越的智商,自然是一看就明白了這東西到底是多麼劃時代的技術。

“啊,劉總!”張千越忽然想到什麼,興奮的說道,“這個電池要是能鋪開使用,又安全續航又高,還能享受到新能源車的動力以及靜謐優勢,誰特麼還買燃油車啊。”

“不僅如此,我看這個up主提到的,鋰氧電池用的稀有元素很少,淨成本甚至比磷酸鐵鋰電池還要低。”

“如果能解決掉迴圈壽命問題,完全就是清潔能源儲能的最好載體,畢竟統一化管理之後,空氣迴圈流通這個問題就自然而然的解決了。”

“如此一來,太陽能還有風能這種能源的利用率就能大幅提高……”

“說不定就能終結掉石油能源,讓國家搶先一步,跨越進入核聚變時代!”

張千越說到最後,興奮的紅光滿面,就好像這技術是他自己研究出來的一樣。

不過這倒也正常,鋰氧電池的發展潛力是個人都能看出來。

劉天陽本人也已經受到了來自上面的關照,讓他寫一個展望分析報告出來,給國家下一步的戰略計劃提供技術方面的參考。

不過像是張千越這麼激動的,劉天陽還真是第一次見到。

“核聚變就太扯了,又不是研發出什麼超導技術,搞了托克馬克出來,張博你這是給我吹牛吹大了。”

“哈哈,不管是太陽能還是風能,本質上不都是太陽上氫核聚變釋放出的能量嘛!”張千越笑著說道,“我這一點也沒說錯。”

“不過話說回來,劉總,你這個鋰氧電池的確厲害的很,但和光刻膠又有什麼聯絡呢?”

張千越吹了半天,忽然回過神來,這特娘鋰氧電池跟光刻膠也差的太遠了吧。

雖說本質上都是化學,硬要說也都是無機化學,可兩個東西之間連基本元素都不一樣。

劉天陽手底下的團隊就是再厲害,也不可能跨越這麼大的專業壁壘吧!

是……吧?

“張博,你最近有跟京城大學錢老師的團隊接觸過嗎?”

劉天陽對著正懷疑人生,懷疑自己的張千越提了一個問題,後者剛剛說過自己跟國內做光刻膠的團隊都曾經深入聯絡過。

但那是以前,現在呢?

“錢老師……”張千越回憶了一下,嗷的一聲拍了下手,“分子工程學院的錢德勝教授是吧,我去年在半導體峰會上跟他聊過。”

“他們團隊算是國內做光刻膠最頂尖的那一批了,而且據說因為成果轉化做的好的緣故,科技委今年給他批了個大專案呢。”

去年?

那張千越對於如今國內光刻膠的發展勢頭不瞭解,倒也不奇怪了。

畢竟國家科研輔助平臺也是今年年初才搞起來,涉及到共建實驗室等近一步的合作那就更晚了。

“那張博等下有沒有時間去錢教授那裡坐一坐。”劉天陽剛剛與錢德勝聯絡了一下,他人正好在實驗室,對於兩人的到訪十分歡迎。

“他那裡可是大變了模樣,和我們公司合作搞了一個智慧平臺做光刻膠研發,形式上就和我們之前跟華清大學合作研究鋰氧電池差不多。”

“而且根據前段時間的報告,目前已經有成果了。”

“去錢教授那裡……”和這種業內頂尖的教授交流,張千越自然是很感興趣,不過如今他人還在上班,而且此次客戶接待也不只是技術部門的事情。

“劉總您稍微等一下,我出去跟領導說一下。”

“好!”

劉天陽坐在會議室裡,透過鴻鈞調取了最近錢教授的實驗結果。

按照他們共建實驗室時簽署的協議,這些資料從智慧財產權上算作是雙方的共有財產,劉天陽和錢教授一樣,都擁有完全的訪問許可權。

不過相對於只能透過報告,對照著資料分析結果的錢教授,有著鴻鈞輔助監測的劉天陽對於專案的實時進度反而還更加了解一點。

‘結合錢教授之前的那份報告,這個光刻膠應該能適用於7nm工藝了,不過具體情況,還是要讓張千越看過之後才能下定論。’

劉天陽揉了揉太陽穴,閉目小憩了一會。

忽然,門外傳來兩個人的腳步聲,他睜開眼睛,發現趙經理跟張千越一起走了進來。

這個胖子一進來就用埋怨的語氣說道:“劉總,我聽張博士說您準備現在跑去京城大學那邊。”

“可再過半個小時就要到飯點了,您何不吃過飯再走呢,反正也不急於這一時對吧。”

“感謝趙經理,不過這次就不勞煩你了。”劉天陽擺了擺手,相對於在飯桌上被一群人捧臭腳,他還是更喜歡跟人討論技術多一點。

“這次的事比較急,麻煩你給張博士辦一下手續,我那邊跟錢教授已經聯絡好了。”

“好的,我現在就安排車子送你們過去。”趙經理瞬間讀出了劉天陽的態度,沒有再多說一句廢話。

只過了不到十分鐘,張千越便跟劉天陽一起坐進了豪華商務車,簡單的跟守在外面的趙經理打了招呼之後,車子便發動了。

‘趙胖子這速度,以前真沒見過,之前哪一次讓他簽字派車,不要磨嘰兩三次的。’

張千越此時對劉天陽的身份有了更加直觀的感受,剛剛一直討論的都是技術問題,讓他還以為自己實在跟一個工程師對接呢。

“我們那邊就是這個風氣,張博士跟我們多交流一段時間,應該就習慣了。”

看到張千越剛坐上車就變得拘謹起來,劉天陽寬慰了兩句。

“天陽科技那邊完全就是技術說了算,畢竟我們也不需要透過那些外門邪道去爭奪市場,完全是靠產品力上的碾壓,從別人手上搶過來的。”

劉天陽作為老總,自然是對整個公司的風氣有著絕對的影響力。

在他看來,如果整個世界只有做蛋糕的人,那才是最完美的情況。

只可惜,人性本惡,做蛋糕的永遠沒有分蛋糕的拿的多,層層盤剝之下,落到那些原子化個人身上也只剩下一點殘羹剩飯了。

“沒辦法,這個世界就是這樣。”劉天陽閒著無聊,跟張千越多扯了幾句題外話,“不過,至少我自己還能做些事情,沒必要跟他們同流合汙。”

張千越中間沒怎麼插話,但心裡面卻慢慢浮現起一個大膽的想法——

劉總,你看我能去你那裡幹嗎?!

當然,有著競業協議的限制,張千越這樣的念頭也只能埋在心裡。

‘要是晚畢業幾年,早點認識劉總就好了!’

“錢教授,別來無恙。”來到錢教授的辦公室裡,兩人跟這位化工學院的新銳老師各自打了個招呼。

“實驗室那邊安排的怎麼樣,能不能給張博士現場演示一下咱們的實驗是怎麼自動化搞起來的。”

劉天陽手裡端著應他要求從食堂帶回來的盒飯,向錢教授詢問起來。

“已經讓學生們過去了,之前探索出的兩種配方也都拿了成品出來。”錢教授把頭轉向張千越,“張主任,那邊檢測儀器很全,光譜儀,接觸角測試儀,液體顆粒度儀LPC等等。”

“你可以現場驗證一下我們最新配方的效能,我保證,絕對是個驚喜!”

“這實驗室,居然不在校園裡?”劉天陽和張千越扒拉了幾口飯,簡單的填了填肚子,便帶著錢教授又坐上了那輛豪華商務車。

“因為劉總那邊自動化方案的要求,經過改造後的儀器比之前佔地面積大了不少。”

不等劉天陽開口,錢教授便解釋起來:“所以我找復材中心的老師借了塊地方,專門建立了一個無塵封閉實驗室。”

大?

能有多大?

張千越雖說工作之後就一直呆在一線,但上學那會也是跟著老師一起參觀過研發光刻膠的實驗室,對於那些檢測儀器的尺寸心裡面還是有個概念。

‘大部分操作不都是博士碩士靠手完成的嗎,電子天平、移液器還有磁力攪拌器之類的東西能佔多大位置。’

張千越帶著疑惑,跟著錢教授一起穿上了防塵服,經過風淋室,進入了實驗室內部。

隨後——

‘我的媽呀,這實驗室,是高校能建出來的?’

呈現在張千越面前的是一個個被傳送帶連線起來的方正機器,這些機器如今正在執行之中,發出的聲音和振動非常輕微。

整個實驗室動靜最大的,居然是那個一直運轉著的空氣過濾器!

‘跟東芯國際的產線差……不,比產線的自動化還要更高一點。’

一個被固定在工裝之中的試劑杯從張千越面前的傳送帶上走過,瞬間改變了他心中的一個想法。

張千越目光順著這個工裝,身子也跟了過去。

“粘度檢測,旋轉塗膠,膜厚測試,剝離測試,接觸角檢測,光譜分析……”

張千越念出一個又一個檢測專案的名字,最後站在那個屋子裡面,佔地面積最大的機器面前。

以他工作這麼久的經驗,居然沒能認出這是什麼檢測儀器。

“這是模擬浸沒式光刻機,裡面塞了一個完整的ArF準分子鐳射發生系統,在劉總的技術支援下,我們設計了一套透鏡系統。”

“雖然只能工作在固定角度,但精度上,我感覺比之前見過的阿斯麥爾的深紫外光刻機還要厲害。”

模擬……什麼來著?

張千越用不可置信的眼神看著面前這個黑傢伙,隨後扭頭對著劉天陽確認了一下。

後者點了點頭,錢教授說的一點沒錯,這裡面的那些透鏡,還都是劉天陽自己手搓的呢。

“用的國產六英寸矽片進行的光刻膠測試,不過因為多次沉積的對齊問題沒辦法解決,所以沒有用上多重曝光技術。”

“光掩膜是之前找你們定製的,不知道張主任記不記得這件事。”錢教授笑呵呵的說道,“每次固定十萬個柵極溝槽,柵極距離56nm,如果用上多重曝光技術,換算下來就是18nm的金屬半間距。”

“等效目前市面上主流的7nm工藝。”

“最終的矽片經過蝕刻和清洗後會放到這個電子顯微鏡下面,拍攝出來的影象由人工智慧對光刻效果進行判斷。”

“整個流程用時不到15分鐘,而且能夠直觀的看到光刻膠應用在實際生產中的效果,這是以前根本做不到的事情。”

錢教授的語氣有些感慨,在跟劉天陽合作之前,他從來沒想到科研居然還能這麼幹。

短短一兩個月的成果,就要比之前好幾年,不知熬白多少博士頭髮做出來的還要多了。

“聽劉總說,錢教授您這邊已經有兩個比較好的配方了。”張千越的眼睛裡,彷彿爆射出光芒一般盯著面前的這臺儀器,“能讓我看一下嗎?”

“沒有問題!”

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