第203章 完成工藝鑑定試驗，超越小日子（1 / 1）
“N45nm-7nmArF化學放大光刻正膠，我們這邊給的代號是HQ-1068，張主任你們需要的應該就是這個。”
錢教授指著學生端上來的兩瓶用聚四氟乙烯瓶子裝的試劑，向張千越介紹了各自的代號，以及效能引數。
“另外一個是用在微流體器件領域的負膠，解析度2微米，穩定性和成本都要比目前市面上的好一點。”
“當然，這個在先進製程光刻領域中基本用不到，我就簡單提一下，不具體展開了。”
錢教授把HQ-1068從桌子上拿起來，旋開瓶塞，倒了一點在已經用重鉻酸鉀清理過汙垢，並用超純水徹底洗淨的試劑杯之中。
不過縱然是如此謹慎的操作，也只能達到和經過特殊改造，針對光刻膠實驗特化過的機器同樣的效果。
“把配液器停下來，開啟後面的遮蔽罩。”
錢教授對著玻璃幕牆之後，站在總控臺前的學生下了指令，後者便在臺子上一通操作。
“嗡嗡嗡……”
一陣持續低沉的電機聲音過後，擋在傳送帶之上的遮蔽罩緩緩向兩側開啟，露出了其中容納試劑杯的工裝。
“張博士，幫我把這個試劑杯放到那邊的臺子上。”
錢教授取出原本放在裡面的試劑杯遞到張千越手上，隨後把剛剛裝好光刻膠的杯子精準的放了進去。
確認無誤之後，他朝著屋外的學生比了個手勢。
“嗡嗡嗡……滴滴滴。”
三聲短促的提示音過後，屋外的學生透過傳音系統對著屋內轉告了實驗系統的情況。
“錢老師，系統自檢透過了，您剛放進的光刻膠已經被檢測到了。”
得到確認的錢教授點了點頭，隨後對著剩下的兩人說道：“實驗結果最後都是彙總到外面的總控臺上，還是在那裡看著清楚一點。”
“這邊都是封閉的，也看不到什麼，咱們現在從實驗室裡出去吧。”
劉天陽和張千越自無不允，兩人跟著錢教授走出風淋室，脫下了那身悶熱無比的防塵服。
“這衣服捂的也太嚴實了，剛剛實驗室裡也開了空調，結果還是出了一身汗。”
“以前一穿都是一整天，好在現如今實驗流程自動化了，倒是擺脫了這種煩惱。”
錢教授看著滿頭大汗的三人，感慨了兩句。
“而且效率也提升了不止一籌，出的活比之前瞎貓亂撞多多了。”
“的確如此。”張千越接上了話題，“這種實驗方式相對於之前簡直就是鳥槍換炮，根本就不是一個級別的。”
“難不成小日子那邊也是這樣搞的？”
“這個問題就要劉總來回答了，畢竟我只是從本專業的角度提供了需求，具體設計和建設都是他那邊一手操辦的。”
面對張千越的問題，錢教授笑著看向劉天陽，他其實也對別人有沒有這種技術很好奇。
畢竟只用了一兩個月，錢教授的團隊就已經從以前的技術積累中挖掘出了很多遺漏掉的閃光點。
這麼算下來，那些早就用上的人，豈不是已經把他們遠遠的甩到了後面？！
“小日子？哼，就憑他們，絕無可能。”
劉天陽不屑的說道，他回想起最近國安那邊傳過來的，老美的那個科研輔助平臺的慘烈進度，又補充了一句。
“就是加上老美也不行，咱們現在相對於其他國家是斷層式領先，根本就不在一個水平上。”
“錢教授，你可要好好的抓住這個時間差啊，咱們爭取彎道加速，直接把他們反超過去。”
“那是自然。”錢教授重重的點了點頭，“有了這種利器，我要是還不能撐起發達國家粉碎機的稱號，簡直就是在對國家和人民犯罪。”
“哈哈，錢教授你這就言重了……”
這邊兩人針對人工智慧輔助科研的事情交流的火熱，被夾在中間的張千越臉上陪著笑，內心卻是油然而生冒出一個想法。
‘雖然不能跑去劉總那邊上班，可要是能把這套系統也搬到公司那邊，用在光刻臺機的測試上，那也挺好的……’
“斷開配液器和之後分液器的通訊鏈路，把系統從這裡調成開環控制模式。”
錢教授剛走進總控室，便直接進入了工作狀態，神情非常認真，完全看不出幾秒前還在跟劉天陽談笑風生。
“把上一次HQ-1068的實驗引數調出來，還有備份在硬碟上的資料，一起開啟。”
錢教授把螢幕上的兩組資料和心裡面記下來的引數對比了一下，確認無誤後才將其匯入了控制系統。
“從這裡可以看到整個實驗的流程，現在系統正在對矽圓片進行旋轉塗膠，稍後便會對錶面的膜厚進行檢測。”
“確認正常之後就會選擇一片區域進行剝離力測試、接觸角測試等等。”
隨著螢幕上流程模組逐次高亮，錢教授向張千越詳細的介紹了每一個流程對應的檢測儀器，以及其所檢測的內容是什麼。
“現在進前烘箱了，為了降低高溫烘箱對其他儀器精度的影響，我們特意把它放進了獨立的房間內。”
錢教授切換了攝像頭的畫面，一個剛剛張千越沒有見過的機器出現在了螢幕的正中央。
“預熱完成了，現在矽片已經進烘箱了，我們這個光刻膠的前烘引數是95攝氏度，30秒。”
張千越看向監控畫面一旁的狀態監測區，上面實時顯示著烘箱內部14個溫度感應器測得的資料。
‘0#94.988℃
1#95.002℃
2#……’
好穩定的跟蹤效果。
張千越有些咋舌，這個烘箱的溫度均勻性，比他們東芯國際實驗室裡的還好。
“誒，錢教授，你們這烘箱哪家的貨啊，均勻性也太好了。”
“啊，我也不清楚，這些儀器都是劉總負責採購的。”錢教授一攤手，“我只負責用。”
“找廠家特挑的貨。”
啊？
這玩意還有體質，也跟CPU一樣能特挑？！
張千越被劉天陽一句話說懵了，也不敢追問，只能就此作罷。
“進光刻機了，ArF光源的功率雖然只有20W，但足夠我們實驗用了。”
錢教授說完這句話後便不再言語，實驗室的其他人也是一樣，靜靜的等待這最關鍵一步的完成。
化學刻蝕，餘膠清洗，矽片在完成了最後兩個步驟之後，便被機械手放到了電子顯微鏡之下。
“按照正常流程，電子顯微鏡會將矽片表面的刻蝕結果全部掃一遍，然後交給人工智慧進行分析，我們只需要看最終結果就好了。”
錢教授主動接管了電子顯微鏡，控制著鏡頭在矽片表面移動著。
“現在是為了讓張主任你看的更清楚，才手動操作的。”
這精準度，真不錯！
如果說之前的那些步驟，張千越只是略微瞭解的話，那現在這一步就到了他的老本行了。
溝槽的平行度，線寬的均勻性，以及邊緣的銳利度，電子顯微鏡拍攝出的圖片對於普通人來說，或許就像一副雜亂無序的超現實主義畫作一般。
但在張千越眼裡，這些非量化的東西，卻暴露出了整個光刻流程的質量控制能力。
只是……
“這質量未免有些太好了……”張千越喃喃自語，有點不敢相信。
如果錢教授的光刻膠真能把單層的質量提高到這種水平，那別說等效N7P工藝了，張千越甚至有信心在四重暴光SAQP工藝的基礎上，直接把製程提高到等效5nm的工藝水平。
“不對，應該不只是光刻膠的功勞。”張千越作為理工科領域的專家，自然清楚對比問題要控制變數的道理。
現在錢教授這邊從最開始的旋轉塗膠，到關鍵的光刻機，以及最後的蝕刻工藝都跟東芯國際產線上的不一樣。
因而還不能武斷的把光刻結果這麼好的原因，全部歸到光刻膠頭上。
‘只不過除了那個模擬光刻機是錢教授他們自己搞的，不瞭解效能之外，其他的東西基本上都是大路貨。’
‘難不成全部都是特挑的？’
張千越把這個不切實際的想法從腦子裡甩了出去，他在這行幹這麼久，也經手過不少採購。
對於那些供應商的品行自然是非常瞭解，要真是能靠特挑找出一批效能更好的貨，怎麼可能不掛上升級款的名義賣出更高的價格。
換而言之，就以東芯國際他們對供應商的嚴苛要求，基本上每一個儀器都經歷過層層檢驗，和所謂的特挑貨也沒什麼區別。
“錢教授，你們這有沒有其他公司的成品光刻膠，我想對比看一下結果。”
張千越對當前實驗方案提出了一個建議，不過錢教授和他的學生找了半天，也沒找到一瓶滿足他要求的，全新未開封的光刻膠。
畢竟他們是研發光刻膠的教研室，倉庫裡最多的都是各種原料試劑，除非是為了逆向研發，也不會花高溢價去散買小日本的光刻膠。
“那我現在讓公司的人帶一瓶……”張千越停住了嘴，想到了一個更好的方法。
既然目的是要評價這個新光刻膠的效能，何不把直接把這東西用在他們東芯國際的實驗產線上呢。
如此一來，便能將其他額外因素全部保持一致，讓HQ-1068和小日子的各型光刻膠直接同臺競技。
對，就這麼幹！
打定主意的張千越用希冀的眼神看向錢教授，語氣裡面充滿了急切。
“錢教授，你這個光刻膠有沒有全新的樣品，如果可以的話，我想帶回公司做一下工藝鑑定試驗。”
這個光刻膠即便不能達到小日子禁售的版本，只要能和目前他們常用的那些水平一致，對於東芯國際來說也是了不得的進步了。
畢竟整個配置流程和中間的工藝技術都在錢教授手上，他們雙方只要多迭代幾輪，很快就能光刻膠的效能給提上去。
“這個是有的，我現在就讓學生準備一下。”錢教授立刻打招呼讓自己的博士去庫房取之前封裝好的光刻膠。
“還有什麼其他需要準備的嗎？”
錢教授對於張千越非常熱絡，他很清楚，高校研發出的成果要想落地，絕對離不開企業的支援。
更何況還是在晶片這麼一個重資產重投入，只有少數幾個頭部大玩家能夠玩轉的行業。
“光刻對應的工藝引數，還有你們機器的效能引數也給我準備一份吧，我回去讓產線對著改一下，儘量發揮出光刻膠的效能。”
張千越從學生手中接過一個看上去就十分堅固的黑箱子，轉頭看向劉天陽。
“走，劉總，咱們回去吧，剛剛市場那邊的趙經理跟我發了個資訊，說是晚上一起出來吃個飯。”
嗯？
這個姓趙的嗎，有完沒完了。
劉天陽本來還在向外走的腳步直接停下了，對著張千越開了口。
“你就跟趙經理說，我這邊要跟錢教授交流一下技術問題，這次就失陪了。”
雖然已經有些不耐煩，但劉天陽並沒有在張千越面前表現出來。
“你們大概需要多久能把光刻膠的引數給測出來？”飯局劉天陽不打算去，但要乾的活還是盯的很死的。
現在他那邊幾個大專案都急切的需要晶片這邊出現突破，可由不得東芯國際這邊慢慢悠悠往前趕。
“我剛看了下錢教授這邊機器的引數，差別不是太大，今天晚上回去就把實驗產線騰一下。”
“順利的話明天就能拿以前成熟的光掩膜刻一版出來，有進展的話我會立刻通知您。”
“好！”劉天陽點了點頭，對於這樣的速度十分滿意。
“那我明天就先不回去了，你那邊有沒有結果都跟我說一聲。”劉天陽思索了一下，繼續說道，“我等下跟你們王總聯絡一下，如果有時間的話明天晚上碰個面。”
“商量一下合作研發光刻膠的事情，主體是錢教授他們團隊，研究用的錢我這邊都可以出。”
“但你們東芯國際也需要提供一下技術支援和工藝實驗條件，畢竟這東西最終收益的，還是你們。”
看著跟小雞啄米一樣點頭的張千越，劉天陽笑了笑，拍了拍這個比自己年長不少的人的肩膀。
“這件事就不用你轉達了，我等下會親自跟王總交流，你只需要把光刻膠驗證實驗的事情做好就行了。”
從距離京城市中心近20多公里的實驗室離開，又趕上了晚高峰，張千越花了將近一個半小時才回到東芯國際的駐地。
不過他剛一進辦公室，便看到得到下屬通報商務車回來的趙經理氣勢洶洶的走了過來。
“張主任，你怎麼沒把劉總帶過來呢。”他一張嘴，就是指責，絲毫不在乎面前的這個常青藤博士，在學識上遠勝於自己這個普本的事實。
“我還專門給你發了簡訊和微信，要不是擔心吵到劉總，就直接給你打電話了。”
“你知道劉總背後的能量有多大嗎？！”趙經理唾沫星子亂飛，嗓門提的很高，“要是能把他拉到我們這邊，公司的業務市場絕對能獲得極大的發展。”
什麼公司的業務市場，是你自己的業務市場吧！
想要藉著劉總的勢在公司裡攪風攪雨，狐狸尾巴早就露出來了，還在這裝！
張千越越聽越覺得心煩，再加上劉天陽給他安排的任務很急，於是也沒再多跟趙經理虛與委蛇。
“首先，趙經理，劉總來不來不是我能決定的，我只是原封不動的轉達了他說的話而已。”
“剛剛你也提到了他的身份，這種人，我難道還能綁回來嗎？”
張千越直截了當的回覆把趙經理的臉都給憋紅了，後者還想說些什麼，又被張千越連珠炮似的回覆堵了回去。
“而且更關鍵的一點，劉總讓我幫他測一個東西，要的非常急，我現在就要去產線上，沒時間在這瞎折騰。”
“趙經理，按照劉總的安排，他明天要跟咱們公司王總就這個東西對接一下合作事宜。”
“極其重要，真正意義上關乎了我們公司的發展。”
“啊……嗯，那你快去吧，我就是過來問一下情況，沒別的意思。”
趙經理聽到王總的名字，立刻蔫了下去，沒敢再攔在張千越的面前。
後者也沒多做什麼多餘的舉動，拿起工裝穿在身上，便坐著電梯下到了產線之上。
“張主任，怎麼現在過來了，有什麼要緊的事嗎？”
正在摸魚的工藝主管看到張千越過來，連忙把手機扣在桌子上，仰著臉打起了招呼。
“夜班的兄弟到崗沒有？”張千越一見面就劈頭蓋臉的問道，語速極快。
“按照班次表是應該到了，我問下排程。”
“好，你讓排程安排一下，今天晚上抽一些人到實驗產線上，我這邊有一個新的光刻膠需要做工藝鑑定試驗。”
張千越把錢教授給的那張參數列拍到工藝主管桌子上：“具體引數都在這裡，你根據咱們的機器做一下調整。”
“工藝鑑定試驗？這個明天早上做來得及麼，晚班人本來就少，要是在抽人怕是會影響正常生產啊。”
工藝主管聽到張千越的話，皺起了眉頭，試探著商量了一下。
“不行，這個東西明天就要拿給王總看，有一個大客戶需要這個結果。”張千越的語氣很乾脆，沒有商量的餘地。
“王總？！”工藝主管點了點頭，“我知道了，張主任您現在去實驗產線那邊吧，工人們一會就到。”
……
工藝鑑定試驗看上去只是拿光刻膠做了一次生產測試，如果按照正常生產的話可能連一個小時都用不了。
但其實際上卻極為複雜，畢竟張千越要的並不是一個沒什麼用的矽片，而是能跟其他光刻膠進行對比的實驗結果。
從昨晚八點到交接班換人，張千越一直守在產線邊上，除了眯了幾眼之外，幾乎就沒有休息過。
隨著離子注入機再一次把矽片退出來，張千越紅著眼，來到檢測工人旁邊。
“第八次套刻的結果怎麼樣，偏差大不大。”
“還行，跟前幾次一樣，沒有出現明顯的錯位現象，整個矽片的沉積效果很好。”
“好。”張千越點了點頭，這樣的工序只要再來上幾次，四重曝光的流程就差不多走完了。
如果光刻膠能一直保證之前的精度的話，那麼最終測試的結果估計會給他帶來一個不小的驚喜。
‘比現在小日子的貨強上不少，雖然還比不過臺積電用的頂尖光刻膠，但應對劉總的那個晶片應該是足夠了。’
熬了這麼久，張千越也實在有些頂不住了，他只感覺上下眼皮一直在打架，整個人都有些昏昏沉沉的。
正好現在套刻只是重複性的工作，引數方面也不需要他多參與，於是張千越跟換班的工藝講了一聲，讓他在結果出來之後去把自己叫醒，便走到值班室趴在桌子上睡了起來。
“張主任，張主任。”
大概兩個小時之後，張千越被那個年輕工藝推醒，迷迷糊糊的走到水池邊上用涼水洗了把臉，才徹底精神過來。
‘跟之前猜的差不多，HQ-1068的效能要比現在公司用的最好的光刻膠也要好，感覺跟信越的頂尖產品也不相上下了。’
而在看到最終矽片的檢測結果之後，張千越的心裡更是燃起了一把火。
這件事可不只是公司多了一家潛在的光刻膠供應商那麼簡單，在HQ-1068光刻膠的效能得到確定之後，西方卡在國家晶片行業上的枷鎖可以說是又少了一根。
‘現在當務之急是跟王總彙報這件事情，讓他跟錢教授和劉總商量，儘快實現光刻膠的量產！’
張千越想到這裡，立刻把實驗結果透過內部網路傳到了自己電腦上，趕會辦公室列印了一份，便急衝衝的朝總經理辦公室走去。
不過當他敲開門，卻發現裡面還有一個自己意想不到的人在。
“劉總！”張千越先是一愣，之後便是一陣驚喜，這下正主也來了，倒是方便的多了。
“光刻膠的工藝鑑定試驗做完了，結果很好。”張千越沒有賣關子，直接把列印出來的資料放到正在聊天的兩人面前。
“各方面都超過了信越供應的產品，完全具備上產線的資格。”
“哈哈，又是一個好訊息。”坐在總經理位置上的王顯達聽言笑呵呵的開了口，“這樣一來，咱們之間的合作又多了一個堅實的基礎啊！”